EDN.335 반도체 스크러버장비용
■ EDN.335 스크러버 전용 압력트랜스미터
- Designed for
scrubber systems
- Optimized for low
pressure measurement
- Enlarged sensing
port for easy maintenance
- Cost-effective
solution
■ 제품 개요
압력트랜스미터 EDN.335
series는 반도체 및 산업용 스크러버(Scrubber) 장비에 적용되도록 설계된 전용
압력트랜스미터입니다.
스크러버 공정은 미세 압력 영역에서도 높은 정밀도를 요구하는 환경으로, EDN.335는 이러한 조건에서도 안정적인 측정 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
특히 본 제품은 측정부의 홀(Hole)
크기를 확대하여, 공정 중 발생할 수 있는 이물질, 슬러지
및 오염물에 대한 막힘(Clogging)을 최소화하였으며, 장비
세정(Cleaning) 및 유지보수(Maintenance)가
용이하도록 설계된 것이 가장 큰 특징입니다.
또한, 합리적인 가격
대비 안정적인 성능을 제공하여, 스크러버 장비 시장에서 경제성과 성능을 동시에 만족시키는 제품입니다.
■ 압력측정원리
EDN.335는 Piezoresistive silicon pressure sensor를 기반으로 압력을 측정합니다.
스크러버 내부의 저압 또는 미세 압력은 센서 다이아프램에 전달되어 미세한 변형을 발생시키며, 이 변형은 전기적 신호로 변환됩니다.
이 신호는 내부 전자회로에서 증폭 및 보정되어 안정적인 아날로그 출력으로 전달되며, 오염물 및 공정 변동이 많은 환경에서도 신뢰성 있는 측정 성능을 유지합니다.
■ 제품의 재질 (Materials of wetted parts)
유체와 접촉하는 부위는 산업 환경에 적합한 내식성 재질로 구성되어 있으며,
특히 스크러버 공정에서 발생하는 화학적 환경 및 오염물에 대응할 수 있도록 설계되었습니다.
■ 정밀도 등급 (Accuracy class)
EDN.335
series는 미세 압력 측정 환경에 적합한 정밀도를 제공합니다.
▶ ±0.5% F.S (standard)
■ 적용환경산업
EDN.335는
다음과 같은 분야에 적용됩니다.
▶ 반도체 스크러버 장비
▶ 가스 처리 및 배출 설비
▶ 화학 공정 설비
▶ 저압/미세압 제어
시스템
▶ 환경 처리 설비
■ 방폭등급
다호의 완벽한 품질관리 시스템 과정에
도입되어 출고 제품의 엄격한 전수검사 과정을 통하여 안정되고 완벽한 아날로그와 통신 신호를 보낼 수 있게 개발되었습니다.
■ 일반 기술제공 사양
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±25 mbar to ±500 mbar Other range on request | |
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Accuracy |
±0.5 % of F.S included
Linearity+Hysteriesis+Repeatability |
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Electrical connection |
DIN43650 A, M12 plug,
Cable type |
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Signal Output |
2-wire: 4…20mA 3-wire:0…10V, 0...5V, 1...5V |


