DAHO (주)다호 트로닉

EDN.335 반도체 스크러버장비용

EDN.335 스크러버 전용 압력트랜스미터

-       Designed for scrubber systems

-       Optimized for low pressure measurement

-       Enlarged sensing port for easy maintenance

-       Cost-effective solution

 

■ 제품 개요

압력트랜스미터 EDN.335 series는 반도체 및 산업용 스크러버(Scrubber) 장비에 적용되도록 설계된 전용 압력트랜스미터입니다.

 

스크러버 공정은 미세 압력 영역에서도 높은 정밀도를 요구하는 환경으로, EDN.335는 이러한 조건에서도 안정적인 측정 성능을 제공하도록 설계되었습니다.

 

특히 본 제품은 측정부의 홀(Hole) 크기를 확대하여, 공정 중 발생할 수 있는 이물질, 슬러지 및 오염물에 대한 막힘(Clogging)을 최소화하였으며, 장비 세정(Cleaning) 및 유지보수(Maintenance)가 용이하도록 설계된 것이 가장 큰 특징입니다.

 

또한, 합리적인 가격 대비 안정적인 성능을 제공하여, 스크러버 장비 시장에서 경제성과 성능을 동시에 만족시키는 제품입니다.

 

■ 압력측정원리

EDN.335 Piezoresistive silicon pressure sensor 기반으로 압력을 측정합니다.

 

스크러버 내부의 저압 또는 미세 압력은 센서 다이아프램에 전달되어 미세한 변형을 발생시키며, 변형은 전기적 신호로 변환됩니다.

 

신호는 내부 전자회로에서 증폭 보정되어 안정적인 아날로그 출력으로 전달되며, 오염물 공정 변동이 많은 환경에서도 신뢰성 있는 측정 성능을 유지합니다.

 

■ 제품의 재질 (Materials of wetted parts)

 

유체와 접촉하는 부위는 산업 환경에 적합한 내식성 재질로 구성되어 있으며,

 

특히 스크러버 공정에서 발생하는 화학적 환경 오염물에 대응할 있도록 설계되었습니다.

 

■ 정밀도 등급 (Accuracy class)

EDN.335 series는 미세 압력 측정 환경에 적합한 정밀도를 제공합니다.

 

±0.5% F.S (standard)

 

■ 적용환경산업

EDN.335는 다음과 같은 분야에 적용됩니다.

 

▶ 반도체 스크러버 장비

▶ 가스 처리 및 배출 설비

▶ 화학 공정 설비

▶ 저압/미세압 제어 시스템

▶ 환경 처리 설비

 

■ 방폭등급

다호의 완벽한 품질관리 시스템 과정에 도입되어 출고 제품의 엄격한 전수검사 과정을 통하여 안정되고 완벽한 아날로그와 통신 신호를 보낼 수 있게 개발되었습니다.

 

■ 일반 기술제공 사양

Pressure range

±25 mbar to ±500 mbar

Other range on request

Accuracy

±0.5 % of F.S

included Linearity+Hysteriesis+Repeatability

Electrical connection

DIN43650 A, M12 plug, Cable type

Signal Output

2-wire: 4…20mA

3-wire:0…10V, 0...5V, 1...5V

 
Technical Information
Data-sheet & E-price