Metallux社의 ME550 압력 센서는 세라믹 기본 셀과 플러시 다이어프램으로 만들어지며 정전 용량 측정 원리는 Capacity 판의 변형으로 인한 정전 용량 변화에 의해 측정됩니다. 움직이는 Capacity 플레이트는 플러시 세라믹 다이어프램에 스크린 인쇄되어 센서 몸체에 접착됩니다. Capacity 플레이트는 원형 공간이 형성된 내부를 향하게 되므로 다이어프램의 반대쪽면을 측정 매체에 직접 노출시킬 수 있습니다. 넓은 직경 (32.4mm)과 정전용량 기술의 사용으로 ME550은 매우 낮은 압력 (60mbar)을 측정하는 데 적합한 센서입니다. 그럼에도 불구하고 ME550 센서는 파열 압력이 높기 때문에 많은 어플리케이션에서 신뢰성이 높습니다. 알루미나(Al2O3) 세라믹은 우수한 내 화학성 (공격적인 가스, 대부분의 용제 및 산 등) 때문에 일반적으로 추가적인 보호 장치가 필요하지 않습니다. Metallux社의 ME550 센서는 게이지 또는 절대압 버전으로 제공 될 수 있습니다

세부사양